1、TTV是硅单晶片在厚度测量值中的最大厚度与最小厚度的差值,用户称作硅片的总厚度变化。
【资料图】
2、这个差值是衡量硅单晶片优劣的一个重要标准。
3、硅单晶片的薄厚片存在会影响硅片合格率及生产工艺,因此这对硅单晶片品质提出了更加严格的要求。
4、硅单晶片厚度分为标称厚度和总厚度变化。
5、硅片中心点的厚度(TV),是指一批硅片的厚度分布情况。
6、多个个厚度测量值中的最大厚度与最小厚度的差值称作硅片的总厚度变化(TTV)。
7、切片工序是制备太阳能硅片的一道重要工序,太阳能硅片的切割原理是转动的钢线上携带着大量碳化硅颗粒,同时工作台位置缓慢下降,由于碳化硅的硬度大于多晶硅,依靠碳化硅的棱角不断地对硅块进行磨削,起到切割作用。
8、薄厚片是衡量硅片品质的一个很重要的指标。
9、扩展资料:参考平面的任何变化都会使测量指示值产生误差:基准环和花岗岩平台之间的外来颗粒、沽污会产生误差。
10、2、测试样片相对于测量探头轴的振动会产生误差。
11、3、扫描过程中,探头偏离测试样片会给出错误的读数。
12、4、本测试方法的扫描方式是按规定的路径进行扫描,采样不是整个表面,不同的扫描路径可产生不同的测试结果。
13、参考资料来源:百度百科-硅单晶片厚度。
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